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    用于指導外延工藝的方法及其系統

    1051   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:31:45
    本發明通過獲取與外延生長設備相關的一或多種硬件設計參數和外延工藝參數,將之構成參數值集合,并基于物理和/或化學理論原理,對參數間數學關系進行分析和判定提煉,輔以處理和存儲的系統,用圖譜的形式預測外延工藝的一種方法;其中,圖譜通過多個參數組合取值區域分別描述反應腔的一或多個物理場、化學場、或者耦合場的多個變化形態。而且,圖譜中包含用于示出生長有利的合理參數組合取值區域的界線。通過多條件集合的“面”技術而非單個條件的“點”技術,定出合理參數組合的外延工藝窗口。指導研發或生產工藝運行,避開不利于生長的區域,從而有效提高生長效率、降低有害沉積(保持腔體干凈、延長維護周期),加快新型設備的成型和量產。
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