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    微電子機械的V型微閥及制作方法

    889   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:31:49
    微電子機械的V型微閥及制作方法,微型閥的性能對微泵的性能指標有直接影響。本產品包括:正單向閥[1]和與正單向閥反向置放的反單向閥[2],正單向閥和反單向閥全部結構均形成在硅基底上,其中正單向閥[1]包括進水口[3]、進水縫[5]、閥片[7]/[8]以及兩個V型槽[11]/[12];反單向閥[2]包括出水口[4]、出水縫[6]、閥片[9]/[10]以及兩個V型槽[13]/[14]。本產品用于藥物微量傳送、燃料微量噴射、噴墨打印、微量化學分析領域,特別適用于大功率元件和超大集成電路冷卻,在未來微量流體控制系統中,可用于化學氣相淀積,分子束外延過程中氣體的精確控制;低溫學或超導體的冷卻;氣、液體的微量化學分析。
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