本實用新型公開了一種研磨盤,屬于半導體集成電路制造技術領域,適用于化學機械研磨機上,所述化學機械研磨機內于所述研磨盤的下方設置有激光檢測裝置,所述研磨盤包括:研磨盤本體;通孔,設置于所述研磨盤本體上,所述通孔對應于所述激光檢測裝置,并且所述通孔的尺寸大于所述激光檢測裝置;蓋板,設置于所述研磨盤本體上,所述蓋板與所述通孔匹配并蓋合所述通孔。上述技術方案的有益效果是:通過在研磨盤上開設置一尺寸大于激光檢測裝置的通孔,對激光檢測裝置的維護過程中可以通過通孔拆除和安裝激光檢測裝置,不需要拆除研磨盤,極大的縮減了維護激光檢測裝置所耗費的時間。
聲明:
“研磨盤” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)