本發明提供的是無閥微泵及其封裝方法。首先制作好微泵泵體,在泵體的腔體處同心地放置一個環形密封彈性墊,在環形密封彈性墊上同心地放好壓電陶瓷蜂鳴片,壓電陶瓷蜂鳴片的PZT面朝腔體外,在壓電陶瓷蜂鳴片上同心放置一個金屬環,使用夾具將各零部件自上而下地壓緊,然后,用密封樹脂膠將金屬環至泵體的各零部件進行膠接、固化。本發明具有密封性能好、工作穩定、可靠性高、便于批量生產等優點。本發明的產品可廣泛應用于可用于微型飛機、微型航天器發動機的推進控制,以及微化學分析、生物醫藥等領域。
聲明:
“無閥微泵及其封裝方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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