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    石英諧振子超精密加工方法及裝置

    1005   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:36:08
    本發明屬于機械加工技術領域，尤其涉及一種石英諧振子超精密加工方法及裝置。首先采用普通成型方法加工出石英諧振子的外表面，然后使用專用砂輪進行粗磨、半精磨、化學機械拋光，結合先進的在線測量技術，對拋光后的表面進行檢測，對超出允差范圍的點位進行修拋至滿足要求；采用專用夾具固定加工好的外表面，再對諧振子內表面進行成型磨削化學機械拋光及檢測加工。本發明的專用夾具與砂輪的特點為中空傘狀，砂輪磨削部分與被加工面形狀一致，加工過程設防護裝置及拋光液回收裝置，可保證加工過程綠色環保，此外，本發明提供的加工方法和裝置，具有加工效率高，加工同軸度好，加工表面損傷層低等優點。
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