本發明為一種具有納米孔徑沸石分子篩的鍍膜微諧振器及其制備方法,包括直徑為40~80微米的光學介質球,在該介質微球表面鍍有一層沸石分子篩膜,沸石分子篩膜的厚度為1~10微米、分子篩平均孔徑小于1納米。本發明利用球形微諧振器對折射率變化的極高敏感性和沸石膜分子篩通過選擇性吸附分子改變自身折射率的獨有特性,將沸石和球形微諧振器結合起來組成沸石分子篩鍍膜微諧振器,可用來制造超高靈敏度的化學、生物傳感器,用于檢測環境中特定分子的存在及濃度。
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