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    自驅動自傳感微懸臂傳感器、制作方法及其應用

    1011   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:36:50
    一種自驅動自傳感微懸臂傳感器、制作方法及其應用，涉及傳感器和腫瘤標記物的檢測技術領域。傳感器由在懸臂段的兩端分別連接檢測段和接線段組成，懸臂段和檢測段的橫斷面分別由基底層以及依次設置在基底層的同一側的下電極層、壓電層、上電極層及頂層組成；下電極層和上電極層各自裸露于接線段的兩個自由端。在微型懸臂傳感器的檢測段的上電極層進行電化學表面功能化材料的修飾后，用于檢測電壓信號。本發明具有檢測設備投入少、操作方便、樣品耗量小、環境污染少、檢測效率高、檢測精度高、靈敏度高的特點。
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