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    用于提高AL-SiC基板防腐能力的處理方法

    941   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:41:37
    本發明提出一種用于提高AL?SiC基板防腐能力的處理方法,首先對AL?SiC基板表面進行噴丸封孔處理,之后對AL?SiC基板進行有機溶劑除油、酸活化以及二次浸鋅處理,最后對AL?SiC基板先化學鍍高磷鎳60min~90min,再化學鍍低磷鎳30min~50min。本發明增加噴丸處理,可以降低Al?SiC基板鑄造缺陷,而且提高電鍍后鍍層質量,從電鍍后鍍層表面存在大量蝌蚪狀氣流痕改進為鍍層外觀均勻一致。通過增加噴丸處理和化學鍍高磷鎳、化學鍍低磷鎳工藝后,鹽霧試驗后基板從片狀橫向腐蝕改變為點狀縱向腐蝕,可避免基板在使用過程中發生腐蝕時,電子元器件大量脫落風險,提高基板使用安全級別,抗腐蝕保護級別RP從5級提高8級。鹽霧后按照ASTMB571規范對基板鍍層結合力進行檢測,結合力合格。
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