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    氧化石墨烯薄膜立式微納結構氣敏傳感器及其制備方法

    931   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:41:39
    本發明公開了一種基于化學還原氧化石墨烯薄膜立式微納結構的氣敏傳感器及其制備方法,首先將氧化石墨烯在溶劑中分散,通過控制還原條件在基底上自組裝得到具有立式微納結構的還原氧化石墨烯薄膜,再采用微加工和剝離技術在石墨烯表面制備金屬電極,從而得到與基底結合較好的基于化學還原氧化石墨烯薄膜立式微納結構的氣敏傳感器;本發明所得到的具有立式微納結構的化學還原氧化石墨烯薄膜氣敏傳感器可實現對氣體分子檢測性能的提高,其制備方法工藝簡單,適合于氣敏傳感器的批量制備。
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