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    全數字功率可調電感耦合等離子體射頻光源

    922   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:45:48
    一種全數字功率連續可調的電感耦合等離子體射頻光源,屬于無機分析儀器領域。包括:包括:RF控制電路、功率控制電路、功率電源電路、射頻功率發生電路、氣路控制電路、定向耦合器以及功率輸出電路。計算機與RF控制電路之間采用串口連接,計算機發出控制信號,將輸出功率作為參數傳遞給RF控制電路,控制信號經RF控制電路接入功率控制電路,功率控制電路根據控制信號的大小控制功率電源電路的輸出電壓,射頻功率經由定向耦合器進入功率輸出電路,輸出功率信號進入功率控制電路進行閉環反饋。優點在于,可實現:光源點火自動化、氬氣控制自動化、光源輸出功率可在軟件上進行連續設定,范圍從650W-2000W,有利于分析性質不同的材料的化學成分。
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    化學分析
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