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    面向物聯網的硅基具有熱電轉換功能的MOSFET器件

    1187   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:54:07
    本發明提供的面向物聯網的硅基具有熱電轉換功能的MOSFET器件，主要包括N型MOSFET和熱電偶，MOSFET選擇P型Si作為襯底，通過COMS工藝和MEMS表面微機械加工實現具有熱電轉換功能的N型MOSFET。在柵極多晶硅四周制作一層二氧化硅并化學機械拋光，其上制作若干個熱電偶。熱電偶包括金屬Al型熱電臂和多晶硅N型熱電臂，蒸鋁連接兩種熱電偶臂，串聯柵源漏的熱電偶電極，留下兩個電極作為塞貝克壓差的輸出極，根據Seebeck效應實現熱能到電能的轉換。該硅基具有熱電轉換功能的MOS器件可以將器件工作產生的熱能轉換為電能，實現能量收集的同時降低了溫度，有利于散熱。通過檢測輸出塞貝克電壓的大小來實現對熱耗散功率大小的檢測。
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    聲明：
    “面向物聯網的硅基具有熱電轉換功能的MOSFET器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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