本發明涉及一種利用噴墨打印技術制造以二氧 化錫為基薄膜型氣敏器件的方法,屬于金屬氧化物半導體傳感 器氣敏元件制造工藝技術領域。該方法包括以下幾個步驟:(1) 制備不同摻雜物質的SnO2基前 驅溶液墨水;(2)進行打印鍍膜,制得各種不同摻雜的 SnO2基薄膜;(3)進行燒結熱處 理,得到不同摻雜的SnO2基薄 膜型氣敏元件;(4)將制得的 SnO2氣敏元件裝入氣敏檢測儀, 檢測對乙醇、H2S、 H2、丙酮等多種易燃易爆、有毒 有害氣體的靈敏度。本發明利用噴墨打印技術簡單易操作控制 的特點,可方便快速的成型多種不同摻雜成分、不同厚度的 SnO2基薄膜氣敏元件,避免了用 常規的化學或物理氣相沉積成膜所需要的復雜工藝或昂貴設 備。
聲明:
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