本實用新型涉及電子化學品生產設備領域,提供一種電子級超純氨水的制備裝置,包括包括洗滌裝置與吸收裝置,其中洗滌裝置包括高純氨氣進氣管、第二超純水進水管、洗滌塔,吸收裝置包括超純氨氣進氣管、超純水進水管、吸收塔、出料管;吸收塔為逆流操作的填料塔,吸收底部連接有一循環管且循環管的另一端與吸收塔的側壁相連,循環管從下端到上端依次設有隔膜泵、過濾單元、檢測單元,檢測單元與循環管上端之間的循環管上連接有出料管。該裝置經過洗滌、吸收制得電子級超純氨水,吸收裝置部分循環充分,循環效率高,成本低;且料液在循環時還通過設在循環管上的過濾單元,可以去除在洗滌與吸收過程中可能引入的雜質,提高了終產品的純度。
聲明:
“電子級超純氨水的制備裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)