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    微環諧振腔內嵌FP腔的光學生化傳感芯片

    1082   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:55:20
    本發明為了解決某些生物化學物質的探測問題，提出了一種微環諧振腔內嵌FP腔的光學生化傳感芯片，該芯片在SOI基體的單晶硅層上包含輸入/輸出直波導和第一諧振腔，第一諧振腔為環狀波導構成的微環諧振腔，在微環諧振腔的環狀波導上還包含光柵FP腔，FP腔的光柵被刻蝕在所述微環諧振腔的環狀波導上。通過采用上述結構，本發明的光學生化傳感芯片在達到相同傳感性能的條件下，減小光學生化傳感芯片的體積，有利于實現光學生化傳感器的微型化與片上傳感系統?？捎糜谏锎蠓肿樱ǖ鞍踪|或者是DNA）液體樣本探測和氣體分子檢測。與其他的生化傳感芯片相比具有制作工藝標準化、便于集成化、傳感性能優良及適用范圍廣等一系列特點。
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    “微環諧振腔內嵌FP腔的光學生化傳感芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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