本發明公開了一種透明噴墨頭的基于MEMS及印刷工藝的制備方法,噴墨頭前端包括墨水腔板和噴嘴板,墨水腔板和噴嘴板均采用玻璃晶圓制成,透明噴墨頭的制備包括以下步驟:S1、在墨水腔板的玻璃晶圓上蒸鍍下電極,利用絲網印刷工藝按照電極圖案印刷壓電陶瓷層;S2、在壓電陶瓷層上繼續印刷上電極;S3、通過半導體鍵合工藝將墨水腔板和噴嘴板鍵合在一起;S4、在壓電陶瓷極化儀中將壓電陶瓷層中的壓電陶瓷極化。本發明使噴墨頭的內部結構被直觀觀察,減少噴墨頭的故障檢測步驟和檢修維護成本,噴嘴板固定穩固同時適應于多種墨水成分,還能簡化壓電驅動端的制備工藝、減少化學品的使用以及降低壓電驅動端的制備成本,以滿足生產及環保需求。
聲明:
“透明噴墨頭的基于MEMS及印刷工藝的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)