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    激光薄膜元件用光學基板的清洗方法

    1125   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:57:09
    本發明涉及一種激光薄膜元件用光學基板的清洗方法，具體步驟為：用蘸有丙酮的棉簽擦拭光學基板，直至在白熾燈照射下基板表面無肉眼可見的污染物為止；將擦拭后的基板置于第一槽堿性溶液，分別用不同頻率對基板先后進超聲清洗；將所得基板放置于第二槽中，用去離子水噴淋；將基板放置于第三槽去離子水中，分別在不同頻率下先后超聲3～6分鐘，在白熾燈下觀測基板表面潔凈度，無肉眼可見顆粒后將基板放置于第四槽去離子水中在80KHz超聲下進行慢提拉，用熱吹風將提拉后的基板干燥，即得到所需產品。本發明將清洗過程與表面檢測結合起來，將擦拭法、化學清洗法、超聲波清洗法結合起來綜合運用，以達到清洗效率高而又對基板光滑表面損傷小的最優清洗效果。
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    聲明：
    “激光薄膜元件用光學基板的清洗方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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