本發明公開了一種惰性氣體高溫純化系統,采用物理吸附、化學吸附和催化氧化等工序聯用的惰性氣體純化工藝。純化系統包含氣源供氣裝置、分子篩脫水裝置、濾芯為PTFE材質固體顆粒過濾裝置、濾芯材料為YBCO的脫氧裝置、濾芯為貴金屬的高溫過濾裝置、冷卻裝置和氣體含量在線檢測設備等其他相關部件。該操作方法包括以下幾個階段:①加熱爐升溫階段;②抽真空及降溫階段;③過濾及冷卻階段;④實時監測階段。本發明優點在于,系統可靠、性價比高、易操作,純化后的氣體純度高。滿足電子工業產業、氣氛熱處理等對超高純化惰性氣體的需求。
聲明:
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