本發明公開了一種基于Pt顆粒修飾的氧化錫/氧化鋅核殼納米片結構的氣敏納米材料、制備工藝及其應用。本發明用化學溶液法制備氧化錫核層納米片,再結合原子層沉積技術,得到氧化錫/氧化鋅核殼結構納米片,最后采用磁控濺射生長Pt薄膜,實現了MEMS基原位生長。本發明制備方法具有可重復性強,成品率高,制備效率高,可規?;a等優點。本發明構建的氣敏納米材料應用于氣體傳感時靈敏度大幅提升,具有高選擇性,展現了更加優異的氣敏性能。本發明的氣敏納米材料能夠對部分微量氣體進行檢測,并且對硫化氫氣體具有優異的選擇性,為氣體監測領域開發高靈敏度、高穩定性的氣體傳感器提供了堅實的技術支持。
聲明:
“基于Pt顆粒修飾的氧化錫/氧化鋅核殼納米片結構的氣敏納米材料、制備工藝及其應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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