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    集成有微流控系統的光學微納生物傳感器的制作方法

    1088   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:57:10
    本發明公開了一種集成有微流控系統的光學微納生物傳感器的制作方法，包括：清洗基片，在基片頂層上通過光刻、顯影、刻蝕等步驟制作微納平面波導型光學器件；在器件表面旋涂厚SU-8膠，通過對準曝光、后烘、顯影等步驟得到SU-8膠微流通道；將PDMS薄片覆蓋SU8層并永久鍵合，從而實現了平面波導型微納光學器件與微流控的集成；通過進液口注入相關試劑，完成對微環區域的化學修飾，再注入待測試劑溶液，通過觀察光功率或諧振譜的變化，從而實現了片上生物檢測的功能。該方法具有操作簡單、可靠性高的優點，適用于大部分的平面波導型微納光學生物傳感器的微流控系統制作。
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    聲明：
    “集成有微流控系統的光學微納生物傳感器的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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