• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > CVD機臺的晶圓傳送系統和晶圓傳送方法

    CVD機臺的晶圓傳送系統和晶圓傳送方法

    809   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:57:10
    本發明提供了一種CVD機臺的晶圓傳送系統，包括：淀積腔體，用于收容晶圓以進行化學氣相沉積；傳送臂，用于將晶圓傳送到淀積腔體；還包括：光信號發生器，安裝在傳送臂上，用于向晶圓發射光信號；光傳感器，用于監測光信號發生器發出的光信號。與現有技術相比，本發明的有益效果是：通過設置光信號發生器和光傳感器，檢測晶圓和傳送臂的相對位置，避免將不符合要求的晶圓送入淀積腔體。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “CVD機臺的晶圓傳送系統和晶圓傳送方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：毒死蜱半抗原、毒死蜱完全抗原及其制備方法
    下一個：基于萘酰亞胺的次氯酸熒光探針及其制備方法

    與 “CVD機臺的晶圓傳送系統和晶圓傳送方法” 相關技術

    ? 固態電池封裝用耐高壓聚氨酯材料及其制備工藝
    ? 全固態電池及其制備方法、用電設備
    ? 環保材料攪拌裝置
    ? 化工材料加工用的臥式反應釜
    ? 鋁基復合材料半連續鑄棒的制備裝置及方法
    ? 環氧硅烷偶聯劑改性粉煤灰/聚氨酯復合材料及其制備方法
    ? 尾礦濃密充填系統及充填工藝
    ? 環保型聚合氯化鋁絮凝劑
    ? 自動化大型鋅鍋撈渣機
    ? 立軸巖心鉆機用動力頭

    相關化學分析設備推薦

    動態應變儀
    土壤肥料測定儀
    自動光譜輻射儀
    土壤重金屬檢測儀
    智慧農業土壤養分檢測儀
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?固態電池封裝用耐高壓聚氨酯材料及其制備工藝
    ?全固態電池及其制備方法、用電設備
    ?環保材料攪拌裝置
    ?化工材料加工用的臥式反應釜
    ?鋁基復合材料半連續鑄棒的制備裝置及方法
    ?環氧硅烷偶聯劑改性粉煤灰/聚氨酯復合材料及其制備方法
    ?尾礦濃密充填系統及充填工藝
    ?環保型聚合氯化鋁絮凝劑
    ?自動化大型鋅鍋撈渣機
    ?立軸巖心鉆機用動力頭

    報名參會
    更多+

    第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
    第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
    2025年07月09日 ~ 11日
    第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
    第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
    2025年07月11日 ~ 13日
    2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
    2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
    2025年07月16日 ~ 18日
    2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
    2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
    2025年07月16日 ~ 18日
    2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
    2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
    2025年07月17日 ~ 19日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:139
    2 取、制樣安全淺析
    下載:131
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:95
    6 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:95
    7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:91
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:90
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>