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    對乙醇敏感的薄膜氣敏材料的制備方法

    1130   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:57:10
    本發明公開一種對乙醇敏感的薄膜氣敏材料的制備方法，該方法包括：(1)使用磁控濺射技術在氣體傳感器四角元器件基底上濺射一層純ZnO薄膜；(2)配制生長花狀ZnO納米棒團簇的溶液；(3)將濺射有ZnO薄膜的四角元器件基底放在所配制溶液中，在烘箱中分兩步進行化學溶解，獲得花狀ZnO納米棒團簇；(4)將四角元器件基底焊在元器件上并對乙醇進行氣敏性能的測試。該方法制備的氣敏材料對乙醇具有很高的靈敏度以及很低的檢測極限。本發明操作簡便，反應條件溫和，可用于大規模的制備氣敏傳感器元器件，適用于工業化生產。
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    聲明：
    “對乙醇敏感的薄膜氣敏材料的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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