本發明公開了一種超聲波輔助石墨烯去膠的方法,將化學氣相沉積方法生長在銅箔上的石墨烯用PMMA進行甩膠、烘干;用FeCl3溶液腐蝕下方銅箔;將PMMA定型的石墨烯轉移至Si-SiO2襯底上;將石墨烯樣品放入超聲波發生器進行超聲波處理;注入分析純的丙酮,啟動超聲波發生器進行清洗;清洗結束后取出樣品,在無水乙醇中漂洗2~20min,再用去離子水沖洗2~20min;將樣品用氮氣吹干保存;該方法有效地加速了PMMA殘膠的溶解,改善了石墨烯表面的清潔度;避免了高溫退火引起襯底對石墨烯的摻雜;合適的超聲功率及處理時間防止了對石墨烯的破損,節約時間,提高了石墨烯的制備效率,具有較強的推廣與應用價值。
聲明:
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