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    超薄芯片的晶背制備方法

    1069   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:01:30
    本發明涉及芯片分析技術領域，公開了一種超薄芯片的晶背制備方法，包括如下步驟：S1：使用熱熔膠固定芯片的錫球面，其中熱熔膠涂抹均勻；S2：裁剪板載體，其中板載體的最大截面面積大于芯片的最大截面面積；S3：使用熱熔膠將芯片粘接在板載體上，其中，所述板載體的中間部位開設形狀與芯片適配的卡接槽，芯片背面卡接在所述卡接槽內；S4：研磨去除表面的板載體，露出芯片背面；S5：化學法去除芯片背面的膠體；S6：拆下樣品；研磨時，受到的力會被板載體均勻開，同時板載體還能增加研磨的阻力，在厚度變薄時其進度會更容易控制，提高研磨的均勻度與質量，使得芯片背面不會出現裂紋以及研磨更均勻。
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    聲明：
    “超薄芯片的晶背制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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