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    用于移除MEMS芯片Cap的移除裝置

    1109   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:04:01
    一種用于移除MEMS芯片Cap的移除裝置，MEMS芯片包括位于其底部的基板、設置在基板上的MEMS元件和ASIC以及通過黏合劑粘合到基板上的MEMS?Cap，其中，MEMS元件和ASIC位于基板和MEMS?Cap之間，移除裝置包括加熱器和吹風器，加熱器置于吹風器的吹風口位置，通過吹風器的吹風將所述加熱器的加熱溫度傳輸至MEMS芯片的黏合劑位置。本實用新型通過加熱與風力相結合的方式，來熱熔用于粘合MEMS?Cap和基板的黏合劑，進而使得MEMS芯片在移除Cap的過程中不接觸腐蝕性化學試劑且不產生機械碰撞，有效防止了MEMS元件的損傷，提高了MEMS芯片樣品的良率及后期分析的準確性。
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