本發明涉及一種基于銀納米顆粒改性碳化鈦的場效應晶體管氣體傳感器及其制備方法與應用,場效應晶體管氣體傳感器包括由下至上依次設置的硅柵極、二氧化硅層、叉指電極區,以及銀納米顆粒改性碳化鈦層;其中叉指電極區包括以叉指形式分布的源極和/或漏極,相鄰的源極與漏極之間通過銀納米顆粒改性碳化鈦層電性連接;制備方法包括將銀納米顆粒改性碳化鈦水相分散液滴涂于叉指電極區上,干燥后即得到場效應晶體管氣體傳感器。與現有技術相比,本發明利用碳化鈦表面負載的銀納米顆粒與硫化氫間的強化學作用實現對目標氣體的快速高效檢測,具有溝制備工藝簡單、響應靈敏、運行成本低等優點,對場效應晶體管在氣體傳感器領域的推廣具有重要意義。
聲明:
“基于銀納米顆粒改性碳化鈦的場效應晶體管氣體傳感器及其制備方法與應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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