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    半導體表面增強拉曼散射的金剛石基底及其制備方法

    979   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:08:39
    本發明的半導體表面增強拉曼散射的金剛石基底及其制備方法，屬于拉曼散射信號增強的技術領域。金剛石基底的結構在硅片或金剛石的襯底表面生長有摻雜硼、氮、硫、磷、硫氮或磷氮等的金剛石膜。采用化學氣相沉積方法在襯底上沉積摻雜金剛石膜；制得的摻雜金剛石膜還可以進行表面功能化處理，獲得表面氫終止或氧終止的摻雜金剛石膜，以提高增強因子。本發明首次以金剛石材料作為一種新的半導體SERS基底，具有高靈敏度、穩定性、可重復性、以及具有良好生物兼容性；增強因子可達到102?105，并可用于多種不同的探針分子檢測。
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    化學分析
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