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    校正裝置及晶圓傳送裝置

    724   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:11:54
    本實用新型公開了一種校正裝置及晶圓傳送裝置，用于校正一晶圓傳送裝置的機械手臂，所述晶圓傳送裝置用于傳送一晶圓，所述晶圓傳送裝置中具有一轉軸，所述轉軸支撐一用于吸附所述晶圓的真空吸盤，所述校正裝置包括：一用于發出一激光的激光頭，所述激光頭位于所述轉軸的中心軸上；一校正晶圓；一用于檢測所述激光的光度計，所述光度計的接收面的中心點與所述校正晶圓的圓心相重合。本實用新型通過提供一校正裝置，為所述晶圓傳送裝置中所述機械手臂的調整提供一參照物，能夠直觀、更準確的調整所述機械手臂使所述晶圓傳送位置的中心度更加準確，提高工作效率；并且不需要通過在所述晶圓上噴涂化學品試驗來反復調整機械手臂，節約成本。
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    “校正裝置及晶圓傳送裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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