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    微泡集成型法布里帕羅結構諧振腔傳感芯片

    996   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:11:54
    本實用新型屬于光學傳感檢測技術領域，具體為一種微泡集成型法布里帕羅結構諧振腔傳感芯片。本實用新型光學傳感芯片包括：兩塊平面反射鏡、中間有中空微泡的石英微管、兩根方形石英管；兩塊平面反射鏡上、下平行放置，兩根方形石英管設置于兩塊平面反射鏡左右兩邊，保證兩塊反射鏡保持高度平行；中空石英微泡設置于兩塊平面反射鏡之間，兩端與平面反射鏡之間粘合固定，形成微泡集成型法布里帕羅結構諧振腔傳感芯片；平面反射鏡表面鍍有特定反射率的金屬薄膜或介質薄膜。本實用新型基于微泡的透鏡效應，使傳感芯片具備高靈敏度、低模式體積和高品質因子的特性，同時集成天然的微流通道，實現低濃度化學分子或者無標記生物分子傳感。
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