本實用新型提供了一種具關閉不嚴提示功能的換向裝置?,F有技術中反應氣體進/出氣管道上僅設置有一換向閥以控制反應氣體進/出反應腔,當換向閥關閉不嚴時會影響產品質量且造成嚴重損失。本實用新型的具關閉不嚴提示功能的換向裝置,設置在具有反應腔的化學氣相沉積設備的反應氣體進/出氣管道上,其包括一連接在進/出氣管道上且用于控制反應氣體進/出反應腔的換向閥、一串聯連接在換向閥上的一氣壓表、一用于依據氣壓表的示值及換向閥的狀態判斷換向閥是否關閉不嚴的判斷模塊和一用于在判斷模塊判斷出換向閥關閉不嚴時啟動以提示使用者的提示模塊。本實用新型可實時檢測出換向閥的關閉不嚴并發出提示,避免了因此所造成的損失。
聲明:
“具關閉不嚴提示功能的換向裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)