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    單溫區開管擴鎵生產晶閘管工藝

    873   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:13:37
    一種單溫區開管擴鎵生產晶閘管方法，屬于電力 半導體器件生產工藝。在單溫區擴散爐里對經高溫 氧化后的硅片進行開管擴鎵。擴散時利用干H2從 固態Ga2O3里通過化學反應攜帶出元素鎵，憑借著 對源溫、片溫、H2氣體流量、摻雜時間的控制，使硅片 一次完成摻雜元素鎵。本工藝使用設備簡單，操作方 便；擴散參數可控、可調、可檢；抗玷污能力強，便于推 廣。用于晶閘管的生產中，可大幅度提高該類產品的 等級合格率和動態特性。
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