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    晶圓拋光方法

    1079   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:14:37
    本發明揭示了一種晶圓拋光方法，該方法包括：膜厚測量步驟，對晶圓進行膜厚測量；移放晶圓步驟，將晶圓移放至工藝位置；預濕潤及電化學拋光步驟，預濕潤晶圓后對晶圓進行電化學拋光；后續處理步驟，對晶圓進行后續處理；晶圓根據其膜厚，預濕潤及電化學拋光步驟被重復執行多次后才進入后續處理步驟。采用本發明的技術方案，能夠大大縮短工藝時間，并保證拋光得到的晶圓表面具有良好的粗糙度。
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    聲明：
    “晶圓拋光方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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