一種傳感器,包括微制造芯片,表面上形成有一個或多個腔,所述腔包括感測元件,一個或多個蓋子,每個蓋子覆蓋所述表面以封閉所述腔中的至少一個,所述蓋子接觸在所述表面上界定所述腔的邊緣。電路部分每個連接相應的一個蓋子,以允許蓋子響應于暴露于電化學溶液部分地電化學溶解。此外,掩蔽材料部分在邊緣的水平處覆蓋蓋子的外圍區域以便在操作中密封蓋子并保護這些外圍區域免受所述電化學溶液的影響??梢蕴峁┫嚓P的裝置和感測方法。
聲明:
“具有可編程傳感腔的生物傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)