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    利用介質薄膜控制Otto結構中空氣隙厚度的方法

    1091   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:14:38
    本發明公開一種利用介質薄膜控制Otto結構中空氣隙厚度的方法，當光強反射率R取得最小值時，此時對應的空氣隙厚度d1即為需要鍍制的介質薄膜的厚度；采用物理沉積法或化學沉積法在棱鏡底面鍍制介質薄膜；介質薄膜鍍制完成后，采用精密測量儀器測量得出的所鍍介質膜層的厚度，即為實際控制的納米尺度空氣隙的厚度。本發明解決了用來產生表面等離子體共振效應的Otto結構中納米尺度空氣間隙厚度難于精確控制的問題。
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