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    生長在Si襯底上的AlGaN薄膜及其制備方法和應用

    869   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:17:30
    本發明公開了生長在Si襯底上的AlGaN薄膜，其包括Si襯底和在Si襯底上外延生長的AlGaN薄膜；所述Si襯底的晶體取向為111面偏100方向0.5-1°；經過采用脈沖激光沉積工藝生長AlGaN薄膜、采用金屬有機化學氣相沉積工藝生長Al原子層、對Al原子層進行氮化處理、襯底以及其晶向的選取等步驟制備而成。所述AlGaN薄膜應用于光電探測器或LED器件中。本發明解決Si襯底上GaN薄膜的裂紋問題的同時提高AlGaN薄膜的質量、純度和界面性能，并降低工藝成本。
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