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    AlZnO紫外光電陰極材料及其紫外真空光電管

    1206   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:17:30
    一種AlZnO紫外光電陰極材料及其紫外真空光電管,屬于電子材料與元器件技術領域。所述AlZnO紫外光電陰極材料,包括襯底基片、沉積于襯底基片表面的金屬底電極和沉積于襯底金屬底電極表面的AlZnO合金薄膜;所述AlZnO合金薄膜的化學式為AlxZn1-xO1+0.5x,其中0.2≤x≤0.7。所述紫外真空光電管,包括真空封裝的所述AlZnO紫外光電陰極和陽極。本發明提供的AlZnO紫外光電陰極材料及其紫外真空光電管,將化學組成為AlxZn1-xO1+0.5x(0.2≤x≤0.7)的三元合金薄膜作為紫外光電陰極材料,其光學吸收邊可藍移至300nm以內,能夠滿足紫外光日盲區探測要求,且具有制備方法簡單、成本較低、無毒環保的特點。本發明可廣泛應用于紫外探測技術領域。
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