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    基于夾固振膜結構的微聲學器件及其制作方法

    840   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:20:16
    基于夾固振膜結構的微聲學器件及其制作方法,涉及一種微聲學器件的結構設計。該器件由硅襯底和設置在其上的復合膜構成,所述的復合膜由底層向上依次為硅層、熱氧層、氮化硅層、低溫淀積的二氧化硅層、金屬鈦粘附層、金屬鉑下電極層、鋯鈦酸鉛鐵電薄膜層、金屬鉑上電極層、等離子化學氣相淀積的二氧化硅層、金屬鋁引線層,該復合膜的四周與硅襯底固結在一起。本發明由于采用了四周夾固的振膜結構,并通過優化設計膜層的尺寸,因而有效克服了微聲學器件懸臂振膜結構存在的缺陷,具有結構堅固、性能可靠、成品率高的突出性特點。測試表明,其聲學靈敏度在10mV/Pa量級,能夠滿足移動電話、助聽器和其他數字通訊系統音頻應用的需要。
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