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    MEMS器件及制備方法、電子裝置

    957   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:20:17
    本發明提供了一種MEMS器件及制備方法、電子裝置。所述MEMS器件包括：基底；振動膜，位于所述基底的上方，其中，所述振動膜包括位于外側的固定區域和位于中間的振動區域，所述固定區域中與所述振動區域相連接的部分呈錐形結構；背板，位于所述振動膜的上方；空腔，位于所述振動膜和所述背板之間。所述振動膜，不僅僅解決掉落測試(drop?test)的振動膜(VP?poly)破碎的問題。同時把振動膜的固定區域(VP?anchor)安放在到基底上而不是氧化物(oxide)上面，解決BOE刻蝕的間隙底切問題(Gap?under?cut?issue)，同時也增大了BOE的工藝窗口，降低了電化學效應影響(galvanic?effect?impact)。
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    聲明：
    “MEMS器件及制備方法、電子裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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