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    多層分級納米結構有序孔薄膜型氣敏傳感器及其制備方法

    1232   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:20:17
    本發明公開了一種多層分級納米結構有序孔薄膜型氣敏傳感器及其制備方法。傳感器為襯底、電極及覆于其上的由兩層以上的、呈緊密的六方排列并相互連通的球形孔狀的半導體氧化物構成的厚度為200NM～10ΜM的氣敏薄膜,球形孔的孔徑為100～5000NM,其于層間為大小相間結構,層間的孔徑大小比為1.5～10∶1;方法為(A)先將不同球徑的單層膠體晶體模板浸入濃度為0.05～0.2M的半導體氧化物前驅體溶液中,待其脫離基底漂浮在前驅體溶液的表面,用所需形狀的帶有電極的襯底分次撈起單層膠體晶體中之一,并置于80～120℃下加熱1～4H;(B)將其置于350～550℃下退火1～4H,制得多層分級納米結構有序孔薄膜型氣敏傳感器。它可廣泛地用于環境監測、化學工業等眾多領域。
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