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    環境穩定的超高品質因子光學微腔及其制備方法

    949   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:20:18
    本發明公開了一種環境穩定的超高品質因子光學微腔及其制備方法。本發明的環境穩定的超高品質因子光學微腔是通過化學氣相沉積法在回音壁模式光學微腔表面沉積硅烷偶聯劑層后得到，所述回音壁模式光學微腔的表面經過化學修飾從而形成不受環境影響的穩定結構。其中，硅烷偶聯劑為疏水性硅烷偶聯劑，硅烷偶聯劑中的水解基團與微腔表面的羥基發生水解反應，硅烷分子被修飾到微腔表面，光學微腔表面形成疏水性化學鍵。本發明的光學微腔經測試，在相對濕度為35％和75％的環境中，經過兩周時間，品質因子Q值仍能保持108以上。因此，本發明的光學微腔的品質因子具有良好的環境穩定性，具有廣泛的應用前景。
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    “環境穩定的超高品質因子光學微腔及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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