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    高溫箔式應變計及其制造方法

    1201   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:20:19
    本發明公開了一種高溫箔式應變計及其制造方法,包括敏感柵(2)、引線(4)、臨時框架(5)三部分。通過膠粘劑或熱熔將臨時基底(1)與金屬合金箔熱合層壓,利用光刻、化學蝕刻或激光蝕刻而成。通過機械、化學、激光等方式調整敏感柵(2)電阻值達到目標阻值。通過化學方式將臨時基底(1)溶化或去除翻轉到臨時框架(3)上,使應變計敏感柵部分裸露。最后采用熱熔焊、電阻焊、超聲焊等方式將焊盤與引線(4)熔融緊密相連,形成高溫箔式應變計。本發明高溫箔式應變計具有多種電阻值,電阻分散性不大于±1%,具有單軸、雙軸和多軸敏感柵結構,滿足400~1100℃范圍類應力應變穩定可靠測量。
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