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    帶有多層反射膜的閃爍體陣列及其制備方法和應用

    1009   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:23:03
    本發明涉及輻射探測技術領域，具體涉及一種帶有多層反射膜的閃爍體陣列及其制備方法和應用。本發明提供的帶有多層反射膜的閃爍體陣列的制備方法，包括以下步驟：在原位制備的閃爍體陣列表面沉積高反膜，得到帶有多層反射膜的閃爍體陣列；所述沉積的方法包括原子層沉積法、物理氣相沉積法和化學氣相沉積法中的一種或幾種。本發明通過采用原子層沉積法、物理氣相沉積法或化學氣相沉積法在閃爍體陣列的表面沉積高反膜，能夠同時對閃爍體陣列中的所有閃爍體條進行鍍膜，無需對每個閃爍體條單獨鍍膜，能夠節省制造成本，提高生產效率，且能夠適應小尺寸的閃爍體陣列。
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