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    掩膜版

    889   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:23:04
    本發明公開了一種掩膜版，其采用透明或半透明硬質材料制備形成，所述掩膜版上設置有對位標記和對位標尺，且所述掩膜版采用激光切割工藝與化學機械研磨工藝配合加工完成。在微細切割加工工藝中，人們通過肉眼或借助于顯微鏡等工具可以透過掩膜版直接觀測到掩膜版下方被切割或加工的區域，由于硬度高的材料磨損速率較低，在需要切割或加工尺寸，材料相同的區域時，本發明的掩膜版可以做到更薄，從而進一步消除由于掩膜版厚度造成的陰影對對準精度的影響，大大提高了微細切割加工工藝的精度。此外，通過設置對位標記和對位標尺，可以對掩模版進行精確定位。而采用激光切割工藝與化學機械研磨工藝配合加工完成，克服了硬度高材料脆性大的問題。
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    聲明：
    “掩膜版” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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