本發明涉及一種在透射電子顯微鏡中原位施加應力的方法,基于自主設計的原位四電極電學芯片,利用聚焦離子束刻蝕加工技術,將測試材料與典型壓電晶體材料組裝成微米級條帶;使用聚焦離子束中沉積的鉑連接測試材料與芯片上的兩個電極,也將另外兩個電極連接到壓電陶瓷材料兩端;使用原位樣品桿將測試樣品放入透射電鏡中,對壓電晶體施加電壓,利用其特有的壓電效應實現對測試樣品定量施加壓應力/拉應力,同時記錄應力對于測試材料電學性能、電化學性能、磁學性能等影響。該方法制備樣品簡單,施加應力精確可控,可同時對樣品施加拉應力和壓應力,具有很好的普適性,為研究材料中應力與性能之間的關聯性提供新的方法。
聲明:
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