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    寬譜銦鎵砷焦平面的結構及其制備方法

    977   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:28:33
    本發明公開了一種寬譜銦鎵砷焦平面的結構及其制備方法，寬譜銦鎵砷焦平面的基底為InP，自基底起依次有InP腐蝕犧牲層，周期性薄層低維量子點層，腐蝕截止層，In0.83Ga0.17As吸收層和重摻雜接觸層；還公開了一種制備所述探測器的方法，主要步驟為：1)產生混成結構In0.83Ga0.17As焦平面探測器；2)機械研磨去除InP基底層；3)化學腐蝕去除犧牲層；4)干法等離子刻蝕去除部分截止層；本發明的優點在于實現單片響應范圍覆蓋400?2600nm的銦鎵砷焦平面探測器，可簡化各類高光譜成像系統的光路，降低功耗、體積、重量，提升探測敏感度。
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    化學分析
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