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    銻化銦單晶片的拋光方法

    1092   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:36
    本發明涉及一種銻化銦單晶片的拋光方法，屬于光電材料技術領域。所述方法對銻化銦單晶片拋光過程中精拋溶液的配方進行設計，利用精拋溶液的化學作用，配合精密拋光機中拋光盤的機械作用，通過嚴格控制轉速、壓力以及精拋溶液的滴速，進行銻化銦單晶片的超精密平整化加工，實現拋光后的銻化銦單晶片的完美晶格，能夠有效避免現有技術中拋光加工所造成的二次缺陷，彌補了銻化銦單晶片精密加工領域的空白。采用本發明所述拋光方法加工的銻化銦單晶片，由于晶格完美，因此利用其制備的紅外探測器的成品率有長足的進步，且大大拓寬了銻化銦單晶片在紅外探測器上的應用。
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    化學分析
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