本發明涉及一種摻雜鈦酸鍶薄膜型熱電偶,是采用兩組不同摻雜鈦酸鍶薄膜作為熱電偶的熱電極材料,采用磁控濺射、絲網印刷或者化學旋涂工藝,在高溫陶瓷基片上沉積制備可用于高溫溫度測量的摻雜鈦酸鍶氧化物薄膜熱電偶。該薄膜熱電偶采用直接貼裝或者涂覆在陶瓷基片表面,可用于高溫氧化氣氛中的溫度測量,能夠在1200℃-1500℃高溫下長期穩定工作。
聲明:
“摻雜鈦酸鍶薄膜型熱電偶” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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