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    系統級封裝方法

    787   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:36
    本發明涉及一種慣性傳感器，尤其涉及一種系統級封裝方法。該系統級封裝方法為：提供封裝體(1)，該封裝體(1)可對被封裝體進行封裝；在封裝體(1)上以物理性或化學性沉積及選擇性蝕刻方式，鋪鍍上單層或多層導電材料而于該封裝體(1)上形成導電結構(2)。本發明是以單一材料構成的質量塊，達成具效能可調適性的系統單芯片多自由度慣性感測組件，故能有效提升慣性感測組件的設計彈性，降低制造成本，適用范圍廣，實用性強。
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    聲明：
    “系統級封裝方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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