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    > 修整頭

    修整頭

    1067   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:36
    本發明公開了一種修整頭，包括修整組件和用于承載修整組件的基座組件，所述修整組件可相對于基座組件旋轉并豎直移動以修整拋光墊；并且，所述修整頭中設置有傳感器以監測修整組件相對于基座組件的豎直位置。本申請提供的修整頭用于化學機械拋光設備中拋光墊的修整活化，其結構合理，內部設置傳感器實時監測修整組件相對于基座組件的豎直位置，實時獲取修整組件底面距離拋光墊的距離，以保證良好的修整效果。
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    聲明：
    “修整頭” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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