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    可消除火焰水解缺陷的沉積裝置

    872   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:36
    本實用新型公開了一種在腔室內將化學反應氣體水解產生二氧化硅粒子在晶圓片上沉積形成硅膜的可消除火焰水解缺陷的沉積裝置，包括：裝配晶圓片使其旋轉的轉臺，以隔板為準形成于隔板兩旁的多個腔室，位于多個腔室內部中心上部并包括使含氧氣和氫氣的燃氣反應產生火焰的噴炬，噴炬被裝配在噴炬臂上，噴炬臂被電機驅動旋轉，將通過燃氣反應產生并未沉積在晶圓片上的硅粒子吸入排出的吸入排出裝置，配備于腔室一側，利用激光組測定晶圓片沉積厚度的激光測定裝置部；本實用新型具備多個腔室，噴炬在持續火焰的狀態下在各個腔室的轉臺之間相互交替作業，給位于轉臺上部的晶圓片連續涂覆，從而使生產工藝穩定化，并提升了產品的產量。
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