本實用新型公開了一種12寸晶元去氣泡抽真空烤箱,包括箱體,所述箱體前側設有單扇門,所述單扇門一側設有控制箱,所述控制箱上設有操作面板,所述操作箱上設有顯示屏。本實用新型通過采用不銹鋼材料的工作室,便于清潔衛生,使用空間大,采用硅橡膠材料制成的密封條,人性化的環保意識,保護使用人員的身體健康,設有進氣電磁閥和手動調壓閥氣路輔助裝置,同時利用抽氣管進行氮氣填充,利用氮氣不活潑的化學性質,提升了使用時的安全性,通過采用數字式的電阻真空計配合壓力傳感器,利用工作室內氣體分子的熱傳導,在高壓時,利用氣體分子的對流傳熱特性,使得電阻規的電阻隨所測系統的壓強變化而變化,從而提高了測量精度。
聲明:
“12寸晶元去氣泡抽真空烤箱” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)